Resumen

GARCIA, Leandro; HERNANDEZ, Julián; MENDOZA, Claudia O  y  GARNICA, María G. Influencia del Flujo de Nitrógeno en la Estructura, Dureza y Resistividad de Recubrimientos de TiSiNO. Inf. tecnol. [online]. 2009, vol.20, n.1, pp. 21-28. ISSN 0718-0764.  doi: 10.4067/S0718-07642009000100004.

Recubrimientos de TiSiNO fueron fabricados por la técnica de erosión catódica reactiva por corriente directa sobre sustratos de acero y silicio, utilizando un blanco de Ti y una pequeña placa de Si sobre una atmósfera reactiva de nitrógeno, oxigeno y argón. Usando el método de Warren-Averbach se analizaron los cambios estructurales de las muestras en función de la variación del flujo de nitrógeno. Cálculos estequiométricos, obtenidos de la técnica de espectroscopia de energía dispersada y corroborados por espectroscopia de descarga luminiscente, muestran que los recubrimientos se encuentran en la región de solución sólida de TiSi_xN(O_y) y SiN_xO_y, dominando la fase del oxinitruro de titanio. La muestra fabricada sobre sustratos de acero y silicio a un flujo de nitrógeno de 3 sscm, presentó el valor de dureza más alto y el valor de resistividad más bajo, respectivamente, debido a su estructura, orientación cristalina preferencial y fases cristalinas presentes en ella.

Palabras clave : recubrimientos TiSiNO; dureza; resistividad; difracción de rayos x; erosión catódica.